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PACVD硬质涂层系统
产品简介
专门针对在广泛的基材上进行功能性和装饰性类金刚石(DLC)涂层的沉积而设计的工业涂层系统,PVD溅射和PACVD工艺相结合,可以拓宽DLC的应用范围,根据客户的应用要求量身定做涂层类型。
>> 咨询热线:13316689188 李国栋(经理)

PACVD硬质涂层系统提供成套现成操作,一整套标准配方,允许沉积标准的碳基涂层(DLC),纯粹的a-C:H沉积需不要夹层取决于应用的化学和机械的要求,单一或多层的沉积加上碳基顶层,在经过挑选的基材上进行DLC涂层沉积,包括各种钢材碳化物,轻金属,陶瓷和塑料类等材质。

PACVD硬质涂层系统的特点:
►  2个等离子激发源(射频,直/直流脉冲)
►  安装在两边的2闭合场非平衡磁控管溅射
►  带有一个前门的六角形真空室,保证一个洁净的环境
►  干式真空系统设计安装在一个单独的空间,处理高吞吐量的碳氢化合物和其他工艺气体
►  基材和导电与非导电涂层及组合高效原位清洗的离子激发系统
►  可选择的等离子体激发模式和频率使等离子的密度和能量适应基材增压特性,以最小压强进行电离作用
►  百叶窗减少在PACVD进程的磁控管靶材中毒
►  单独的PACVD工艺中不强制转动的时候,一种行星式转动也能够使溅射涂层统一沉积
►  特别是在PACVD过程特殊设计的进气系统能够优化涂层的均匀性和清洁度
►  泵的选择编排和上下的蒸汽压力调节,保证了涂层系统的高可靠性
►  iFIX基础的控制系统,易于批次、配方和报警处理
►  所有数据的采集,保证最佳的过程控制。工艺过程中定制曲线图做到最佳检查方案。在批次运行过程中,操作者也可复制更改或新建工艺
►  用户可自行设置进入控制系统的权限,以保证系统的质量和安全性
 

靶材材料 Ti, Cr, (Zr) single plates
涂层 a-C:H, a-Si:C:H
氮化物 (TiN, Cr, (ZrN))
碳氮化物 (TiCrN, CrCN)
  Combinations of Nitrides, Carbo-nitrides and DLC
可用等离子区域 PACVD: Ø 900 × H 700 mm
  PVD/PACVD: Ø 600 × 500mm
气体 Ar, H2, N2, C2H2, Si-Precursor
承载 200 kg
HCDLC-380 有效空间 应用技术 靶材
Ø400x H450mm CMARC 2pcs×3
生产周期 标准涂层 可选涂层
3-5小时/炉 TiN,CrN,AlTiN,AlCrN TiCN,TiAlCrN,TiAlSiN
硬件 软件 产量/炉
磁悬浮分子泵
等离子清洗
气体刻蚀
工业可编程系统
工业PC系统
专家远程诊断系统
洗刀 D4×50mm=864 D10×75mm=264
刀片 D18×5mm=1440
滚刀 D80×80mm=15
HCDLC-600 有效空间 应用技术 靶材
Ø600 x H500mm CMARC 2pcs×3
生产周期 标准涂层 可选涂层
4-6小时/炉 TiN,CrN,AlTiN,AlCrN TiCN,TiAlCrN,TiAlSiN
硬件 软件 产量/炉
磁悬浮分子泵
脉冲偏压
HCD等离子刻蚀
工业可编程系统
工业PC系统
专家远程诊断系统
洗刀 D4×50mm=1920 D10×75mm=512
刀片 D18×5mm=3276
滚刀 D80×80mm=40
HCDLC-650 有效空间 应用技术 靶材
Ø650 x H750mm CMARC 4pcs×3
生产周期 标准涂层 可选涂层
3-6小时/炉 TiN,CrN,AlTiN,AlCrN TiCN,TiAlCrN,TiAlSiN
硬件 软件 产量/炉
磁悬浮分子泵
脉冲偏压
等离子刻蚀
工业可编程系统
工业PC系统
专家远程诊断系统
洗刀 D4×50mm=4032 D10×75mm=880
刀片 D18×5mm=6400
滚刀 D80×80mm=64
HCDLC-900 有效空间 应用技术 靶材
Ø900 x H1200mm CMARC 6pcs×3
生产周期 标准涂层 可选涂层
5-8小时/炉 TiN,CrN,AlTiN,AlCrN TiCN,TiAlCrN,TiAlSiN
硬件 软件 产量/炉
磁悬浮分子泵
脉冲偏压
等离子刻蚀
工业可编程系统
工业PC系统
专家远程诊断系统
洗刀 D4×50mm=8640 D10×75mm=2200
刀片 D18×5mm=1200
滚刀 D80×80mm=140

 

涂层种类 涂层名称 颜色 涂层成分 显微硬度 最高使用温度 摩擦系数 涂层厚度
氮化物陶瓷 HAL 黑色 ALTiN 3800 900 0.6 2.5±0.5
HAL Plus 黑色 ALTiN 3800 900 0.6 4±0.5
HAL Mini 黑色 ALTiN 3500 900 0.6 1.5±0.5
HAL B 紫黑 ALTiN 3600 900 0.6 2.5±0.5
HAR 银色 CrN 2000 700 0.3 3±0.5
HAT 金黄 TiN 2400 600 0.5 3±0.5
HAS 古铜 AlTiSiN 3800 1000 0.4 3±0.5
HATC 灰色 TICN 3500 400 0.2 2±0.5
HATC Plus 古铜 TICN 3200 400 0.25 2±0.5
HART 金黄 CrTiN 2500 600 0.4 2.5±0.5
HRA 蓝灰 AlCrN 3500 1000 0.4 4±0.5
HRAT 灰色 AlTiCrN 3200 900 0.4 3±0.5
DLC HCC 黑色 CrN+W-C:H 2200 300 0.2 2±0.5
HCMC 黑色 Cr+W-C:H+DLC 1800 300 0.1 2±0.5

 

涂层
名称
低合
金钢
高合
金钢
不锈钢 铸铁 青铜 铝合金Si<12% 铝合金Si>12% 木材 塑料 钻头 钻削
刀片
铣刀 铣削
刀片
车刀片 滚刀 插齿刀 滚插
刀片
丝锥
HAL Plus A- A A- A             A A   A- A A A A  
HAL Mini A- A A A                 A-            
HAL B A- A A- A             A- A- A A- A-        
HAR         A A     A A                 A-
HAT A               A A A- A- A- A- A- A- A- A- A-
HAS A-   A-               A A A A          
HATC             A A                     A-
HATC Plus             A A             A-       A
HART A A- A-   A- A-     A A A A A A- A- A- A- A-  
HRA A- A A A- A- A- A- A- A- A- A- A- A- A- A-        
HRAT A A A A- A- A- A- A- A- A- A A A A A A A A  
HCC           A A A- A A                 A
HCMC           A A A- A A                 A-
  A:非常实用现有的材料或者加工环境
A-:亦可用在该材料和加工环境中

典型应用:
• 摩擦学应用
• 塑料加工
• 光学行业
• 半导体行业
• 汽车零部件
• 工程
• 赛车部件

硬质涂层